中科院:加快突破光刻機(jī)“卡脖子”難題 產(chǎn)業(yè)鏈迎高光時(shí)刻
昨日盤后,國(guó)新辦就中國(guó)科學(xué)院“率先行動(dòng)”計(jì)劃第一階段實(shí)施進(jìn)展情況舉行發(fā)布會(huì)。
發(fā)布會(huì)上,中科院院長(zhǎng)白春禮表示:面臨美國(guó)對(duì)中國(guó)高科(600730,股吧)技產(chǎn)業(yè)的打壓,我們希望在這方面能做一些工作。我們把美國(guó)“卡脖子”的清單變成我們科研任務(wù)清單進(jìn)行布局,比如航空輪胎、軸承鋼、光刻機(jī),還有一些關(guān)鍵的核心技術(shù)、關(guān)鍵原材料等,我們爭(zhēng)取將來(lái)在第二期,聚焦在國(guó)家最關(guān)注的重大的領(lǐng)域,集中我們?nèi)旱牧α縼?lái)做。
目前高精度的光刻機(jī)只有荷蘭、美國(guó)、日本、德國(guó)等少數(shù)企業(yè)掌握,其中荷蘭的阿斯麥公司(ASML)更是其中的龍頭老大,并已經(jīng)占據(jù)了高達(dá)80%的市場(chǎng)份額,壟斷高端光刻機(jī)市場(chǎng)。
據(jù)悉,目前最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)精度為7納米,售價(jià)曾高達(dá)1億美元一臺(tái),且全球僅僅ASML能夠生產(chǎn)。而英特爾、三星和臺(tái)積電都是ASML的股東,享有光刻機(jī)的優(yōu)先供貨權(quán)。
與此同時(shí),中國(guó)自主生產(chǎn)的光刻機(jī)精度約為90納米級(jí)別,與世界最先進(jìn)水平大約有15年的技術(shù)差距。
芯片制造是我國(guó)最大的短板,芯片制造始終繞不開(kāi)光刻機(jī),直接制約著中國(guó)高科技企業(yè)的持續(xù)健康發(fā)展。
其實(shí)這些年來(lái),國(guó)內(nèi)早就有設(shè)備廠商,以及研究機(jī)構(gòu)在對(duì)光刻機(jī)進(jìn)行研發(fā)。如上海微電子、中電科四十五所、中電科四十八所等。
目前我國(guó)的北斗三號(hào)芯片目前已經(jīng)成功突破了22納米的限制,它所配套的上海微電子技術(shù)也取得了重大突破,成功研制出了22nm的光刻機(jī)。
方正證券(601901,股吧)陳杭認(rèn)為光刻機(jī)國(guó)產(chǎn)替代將迎來(lái)新的曙光,尤其是IC前道制造領(lǐng)域,將初步打破國(guó)外巨頭完全壟斷的局面,實(shí)現(xiàn)從0到1的突破。
建議關(guān)注以舉國(guó)之力助力國(guó)產(chǎn)替代的光刻產(chǎn)業(yè)鏈,一是光刻機(jī)核心組件:負(fù)責(zé)整體集成的上海微電子、負(fù)責(zé)光源系統(tǒng)的科益虹源,負(fù)責(zé)物鏡系統(tǒng)的國(guó)望光學(xué),負(fù)責(zé)曝光光學(xué)系統(tǒng)的國(guó)科精密,負(fù)責(zé)雙工作臺(tái)的華卓精科,負(fù)責(zé)浸沒(méi)系統(tǒng)的啟爾機(jī)電;二是光刻配套設(shè)施:包括光刻膠,光刻氣體,光掩模版,光刻機(jī)缺陷檢測(cè)設(shè)備,涂膠顯影設(shè)備等。
財(cái)聯(lián)社整理光刻機(jī)相關(guān)概念股包括萬(wàn)業(yè)企業(yè)(600641,股吧)、張江高科(600895,股吧)、奧普光電(002338,股吧)、晶方科技(603005,股吧)、上海新陽(yáng)(300236,股吧)等。
圖片
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